イオンビーム引出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-268723
公開番号（公開出願番号）：特開平6-119896
出願日： 1992年10月07日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】引出電極に付着堆積する堆積物を容易に除去できるイオンビーム引出装置を提供する。【構成】引出電極10に、引出電極10に付着した堆積物を蒸発させるために引出電極10に通電して引出電極10を加熱する通電加熱手段15を接続した。

請求項（抜粋）：

プラズマ発生室の開口部に荷電粒子を引き出す引出電極を設けたイオンビーム引出装置において、上記引出電極に、引出電極に付着した堆積物を蒸発させるために引出電極に通電して引出電極を加熱する通電加熱手段を接続したことを特徴とするイオンビーム引出装置。

IPC (2件)：

H01J 37/08 , H01J 27/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

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