特許
J-GLOBAL ID：200903073233762108
基板への塗布液塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-329565
公開番号（公開出願番号）：特開平8-155365
出願日： 1994年12月02日
公開日（公表日）： 1996年06月18日
要約：
【要約】【目的】 塗布液の有効利用を図り、設置スペースを小さくし、塗布品質の向上を図り、塗布液膜の膜厚が許容範囲を外れる非有効領域の発生を防止できる塗布装置を提供する。【構成】 基板10を保持するステージ12と、基板の被塗布面に塗布液を供給する塗布液槽14と、塗布液槽を基板に沿って下方へ直線移動させる手段と、塗布終端側に配設され基板の下端面に当接又は近接する端面30及び塗布液槽と対向する前壁面32を有した延設部材28とを備えて構成する。塗布液槽は、両端が閉塞され基板の幅方向に延在する筒状をなし、前面壁部16に、それを貫通する塗布液流出路18を形成し、前端面20が被塗布面に非接触でかつ近接するように配設される。
請求項（抜粋）：
被塗布基板を鉛直姿勢又は傾斜した姿勢に保持する基板保持手段と、両端が閉塞され前記基板保持手段に保持された被塗布基板の幅方向に延在する筒状をなし、前面壁部にそれを貫通するように、多数の細管、多数の微小孔又はスリット状細溝ノズルからなる塗布液流出路が幅方向にわたって形成され、前記前面壁部の前端面が、基板保持手段に保持された被塗布基板の被塗布面に非接触でかつ近接するように水平方向に配設され、前面壁部の前端面の上端が、基板保持手段に保持された被塗布基板の被塗布面と前面壁部の前端面との間の隙間を上方へ無限に延長させたと仮定した場合に前面壁部に形成された塗布液流出路を通って流出し前記隙間内に流入した塗布液が少なくとも毛細管作用によって隙間内を上昇するときの到達高さ位置より上方に位置するように形成され、前面壁部の前端面と被塗布基板の被塗布面との間に隙間を保ったまま被塗布基板に対しその縦方向に相対的に移動自在に保持された塗布液槽と、この塗布液槽と前記基板保持手段に保持された被塗布基板とを相対的に直線的に移動させる直動手段と、塗布終端側に配設され、前記基板保持手段に保持された被塗布基板の下端面の少なくとも一部に当接し又は対向して近接する端面を有した延設部材とからなり、前記塗布液槽内に塗布液を注入したときに、前記基板保持手段に保持された被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間に、前記塗布液流出路を通って流出した塗布液の液溜りが形成され、その液溜りの上方に塗布液が無い空間が形成された状態で液溜りの上端と被塗布基板の被塗布面とが相対的に移動しながら、前記隙間における液溜りの塗布液が被塗布基板の被塗布面に塗布されて消費される量に応じ、塗布液槽内の塗布液が塗布液流出路を通って供給されるようにした、基板への塗布液塗布装置。
IPC (5件)：
B05C 3/18
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 505
, G03F 7/16 501
, H01L 21/30
