特許
J-GLOBAL ID：200903073238420671
カラーフィルタ基板の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-147140
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005321
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、カラーフィルタ基板の製造方法に関し、工程管理を困難にすることなく成膜状態のばらつきを抑えることができるとともに、形成パターンの寸法精度を良好にすることができ、表示品位に優れた液晶ディスプレイを得ることができるカラーフィルタ基板の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 フォトマスクを用いたマスク露光方法、支持体に形成された選択的遮光部を用いた溝部の背面からの露光方法及びスキージング方法のうち、少なくとも2つ以上の方法を組み合わせることにより、第1の支持体上にパターン形成された溝部内に複数色の着色樹脂パターンを選択的に形成する工程と、該第1の支持体の該溝部内の該着色樹脂パターンを第2の支持体上にパターン転写する工程とを含むように構成する。
請求項（抜粋）：
フォトマスクを用いたマスク露光方法、支持体に形成された選択的遮光部を用いた溝部の背面からの露光方法及びスキージング方法のうち、少なくとも2つ以上の方法を組み合わせることにより、第1の支持体上にパターン形成された溝部内に複数色の着色樹脂パターンを選択的に形成する工程と、該第1の支持体の該溝部内の該着色樹脂パターンを第2の支持体上にパターン転写する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
IPC (2件)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
