誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-023535
公開番号（公開出願番号）：特開平6-210286
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：

【要約】【目的】各種の処理を高品位で行い、かつ、高速度であるいは高効率で行うことが出来る誘電体バリヤ放電ランプを利用した処理方法を提供することである。【構成】被処理物と処理用流体を接触させた状態において、波長の異なる光を放射する少なくとも2種類以上の光源によって該被処理物と処理用流体を同時に照射して該処理物を処理する処理方法において、該光源の少なくとも1種を誘電体バリヤ放電ランプにした事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法を使用する。また、該光源の少なくとも1種を該被処理物と処理用流体を収納している処理室内に設けたことにより、特に、該処理室内に設ける光源を誘電体バリヤ放電ランプにする。

請求項（抜粋）：

被処理物と処理用流体を接触させた状態において、波長の異なる光を放射する少なくとも2種類以上の光源によって該被処理物と処理用流体を同時に照射して該被処理物を処理する処理方法において、該光源の少なくとも1種類を誘電体バリヤ放電ランプにした事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法。

IPC (2件)：

C02F 1/30 ZAB , B01D 53/32 ZAB

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開昭62-007122

審査官引用 (16件)

特開昭62-007122
特開昭62-007122
特開平3-211283

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