特許
J-GLOBAL ID：200903073240628000
圧力スイッチ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249391
公開番号（公開出願番号）：特開平6-103866
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 圧力スイッチにおいて、長時間使用による特性劣化や動作不良を防止した圧力スイッチを得る。【構成】 圧力基準室4内に形成したダイヤフラム2側の接点電極6を、金属を用いずにシリコン基板1と一体化された凸部とし、この凸部に拡散抵抗7を形成することによって電極とし、ガラス側電極5と対となるスイッチとする。
請求項（抜粋）：
シリコン基板の一部分を肉薄にしたダイヤフラム構造を有し、該ダイヤフラムに対向するガラス基板との間で圧力基準室を有し、かつ該ダイヤフラムの圧力基準室側と、ガラス基板の圧力基準室側にそれぞれ電気的接点を有する圧力スイッチにおいて、前記ダイヤフラムの圧力基準室側に設ける電気的接点はシリコン基板と一体化した凸部に拡散抵抗を形成してなることを特徴とする圧力スイッチ。
IPC (3件)：
H01H 35/34
, G01L 9/00
, H01L 29/84
