特許

J-GLOBAL ID：200903073242405849

鉄系金属のエッチング用組成物およびエッチング方法

発明者： 大田 幸次 ,  中岸 徹行
出願人/特許権者： 朝日化学工業株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-049682
公開番号（公開出願番号）：特開平6-200385
出願日： 1991年03月14日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】 エッチング面の平滑性、直線性、エッチング速度の促進性、および寸法精度に優れた鉄系金属のエッチング用組成物およびエッチング方法を提供する。【構成】 塩化第二鉄45重量%、遊離塩酸0.15重量%、2-プロピン-1-オール0.2重量%、ジエチレングリコール1.0重量%、エチレンチオ尿素0.05重量%であるエッチング液組成物を用いる。また、エッチング中にエチレンチオ尿素のみ0.05重量%/時間の速度で添加する。【効果】 良好なエッチファクタ、エッチング速度、表面粗度等を得ることができる。エチレンチオ尿素をエッチング中に添加することによって、良好な状態を継続することができる。

請求項（抜粋）：

下記成分(a),(b),(c),(d)および(e)を含むことを特徴とする鉄系金属のエッチング用組成物。(a)塩化第二鉄水溶液(b)塩酸(c)炭素数3〜6のアセチレンアルコール(d)多価アルコール(e)-S-基、-SH基もしくは>C=S基を含む有機硫黄化合物

IPC (2件)：

C23F 1/28 ,  C23F 1/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-079983
  
• 特開平2-141589
  
• 特開平2-145781