特許
J-GLOBAL ID：200903073245980267
ヌル波面計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-018137
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213421
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】 ヌル波面を用いたヌル干渉計測によって被検面の非球面形状を高精度に測定するために必要な情報を得ることができるヌル波面計測装置あるいはヌル干渉計を提供する。【解決手段】 参照面1aにより反射されて形成される参照光と球面原器12または被検面13aにより反射されて形成される測定光との相互干渉に基づく干渉データ、および検出手段7により検出される移動量データを演算処理してヌル波面10を校正するのに必要な数値を算出する。
請求項（抜粋）：
非球面形状のヌル波面を校正するヌル波面計測装置であって、干渉計本体と、前記干渉計本体からの光を反射する参照面と、前記干渉計本体から射出される波面を被検物の被検面形状と等価な非球面波に変換するヌル素子と、前記非球面波のNAを校正するための球面原器と、前記被検物または前記球面原器を前記非球面波の測定光軸に沿って移動させる移動手段と、前記移動手段の移動量を検出する移動量検出手段と、前記参照面により反射されて形成される参照光と前記球面原器または前記被検面により反射されて形成される測定光との相互干渉に基づく干渉データ、および前記移動量検出手段により検出される移動量データを演算処理して前記ヌル波面を校正するに必要な数値を算出する演算手段とを備えることを特徴とするヌル波面計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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