特許
J-GLOBAL ID：200903073248050171
アレイ素子検査方法およびアレイ素子検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310920
公開番号（公開出願番号）：特開2000-136982
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】 アレイ素子の相対位置を、高分解能で広範囲、かつ比較的安価に検査できるようにする。【解決手段】 ファイバアレイ1の各ファイバ1bからの光を、対物レンズからなる拡大光学系12に入射して拡大し、レンズアレイ2のファイバ側焦点位置13に結像する。焦点位置13に結像した拡大画像を、各ファイバ1bの拡大像に対応する、光軸が互いにほぼ平行に配置された複数の屈折型レンズを一体型にしたレンズアレイ2に入射して、これよりほぼ平行光として取り出す。撮影範囲が限られても支障がないように、レンズアレイ2のそれぞれからの平行光を結像レンズ3でほぼ同-点に結像する。結像されたファイバ1bの像をCCDカメラ4で撮影し、コンピュータ5によって撮影信号からそれぞれの素子の相対位置を求める。前記同一点からのずれ量からファイバアレイ1の良否を判定する。
請求項（抜粋）：
アレイ状に配置された複数の素子の位置を光学的な検出器を用いて検出する方法であって、前記複数の素子からの光線を拡大光学系により拡大し、前記拡大された光線を、各素子に対応する光軸が互いにほぼ平行に配置された複数のレンズを有するレンズアレイにより取り出し、該レンズアレイの各レンズからの光を結像レンズで前記検出器の受光領域内に結像もしくはほぼ結像し、結像された素子の像を検出し、検出信号よりそれぞれの素子の位置を求めるようにしたことを特徴とするアレイ素子検査方法。
Fターム (1件)：
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