特許
J-GLOBAL ID：200903073259120384
積層型圧電アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-355897
公開番号（公開出願番号）：特開平10-190083
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】 側面に露出した内部電極を厚さ数十μm程度のガラス絶縁層で被覆する構成を用いずに、内部電極と外部電極の間を絶縁し、耐久性の高い積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】このアクチュエータでは、圧電セラミックス板1と内部電極導電体2a、2bとが交互に積層され、積層体3を構成する。積層体3の側面には、1対の外部電極導電体4a、4bが設けられ、内部電極2aは1層おきに一方の端部が積層体3の側面に露出し、外部電極導電体4aに接続される。内部電極2aの他方の端部は積層体3の側面に露出せず、外部電極導電体4bとは絶縁される。内部電極導電体2aと外部電極導電体4bとの絶縁部位Aには、余白が設けられ、この余白に絶縁壁5a、5bと絶縁層6が設置される。
請求項（抜粋）：
シート状に焼結された圧電セラミックス板と内部電極導電体とを交互に積層した積層体の側面に、少なくとも1対の外部電極導電体から成る外部電極を配設した圧電アクチュエータにおいて、一方の上記外部電極導電体が設けられた上記積層体の側面では、上記内部電極導電体の端部が1層おきに露出して上記一方の外部電極導電体と接続され、端部が露出していない上記内部電極導電体は上記一方の外部電極導電体と絶縁され、他方の上記外部電極導電体が設けられた上記積層体の側面では、上記一方の外部電極導電体と絶縁された上記内部電極導電体の端部が1層おきに露出して上記他方の外部電極と接続され、端部が露出していない上記内部電極導電体は上記他方の外部電極導電体と絶縁され、上記内部電極導電体における、上記外部電極導電体と接続された端部以外の部分は、上記圧電セラミックス板の周辺に余白部を有するように配設され、この余白部に、上記内部電極導電体を包囲する絶縁層が設けられている、ことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 S
, H02N 2/00 B
