特許
J-GLOBAL ID：200903073265278895
半導体単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-214974
公開番号（公開出願番号）：特開平8-073292
出願日： 1994年09月08日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、カーボンファイバーを用いた黒鉛ルツボで、しかもこれを繰り返しシリコン単結晶の引き上げに使用しても縁部が外側にそったり、これに嵌挿される石英ガラスのルツボとの熱膨脹率の相違で破損するようなことがなく、またシリコン融液の対流が行われて良好なシリコン単結晶が得られるような黒鉛ルツボを得ようとするものである。【構成】ルツボ底部を構成する架台と、この架台の上部周縁に形成された凸部の内側に嵌挿された筒状体と、この筒状体の底部内周縁に載置した環状スペーサから構成される黒鉛容器で、筒状体がカーボンファイバーを円周方向に互いに密接して配置したもので、かつ円周方向の熱伝導率が上下方向の熱伝導率より大である異方性炭素繊維強化炭素材であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ルツボ底部を構成する架台と、この架台の上部周縁に形成された凸部の内側に嵌挿された筒状体と、この筒状体の底部内周縁に載置した環状スペーサから構成される黒鉛ルツボで、筒状体がカーボンファイバーを円周方向に互いに密接して配置したもので、かつ円周方向の熱伝導率が上下方向の熱伝導率より大である異方性炭素繊維強化炭素材であることを特徴とする半導体単結晶引き上げ用黒鉛ルツボ。
IPC (3件)：
C30B 15/10
, H01L 21/208
, C30B 29/06 502
