特許
J-GLOBAL ID：200903073265876806
面圧分布センサおよび面圧分布センサの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 高橋 詔男
, 鈴木 三義
, 村山 靖彦
, 高柴 忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-017088
公開番号（公開出願番号）：特開2005-207993
出願日： 2004年01月26日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】 長期にわたって面圧分布の正確で安定した検出が可能であり、かつ、簡単な構成でローコストに製造が可能な面圧分布センサを提供する。【解決手段】 流体層10を挟んで対向する一対の基板8、9と、一方の基板8の流体層10側に並列して形成された複数の線状導体2aからなる行配線群2と、他方の基板9の流体層10側に並列して形成された複数の別の線状導体3aからなる列配線群3とを有し、線状導体2aと別の線状導体3aとが相互に交差するように配置され、かつ各線状導体2a、3aの各交差部に静電容量が形成されてなり、行配線群2が一方の基板8に埋め込まれるとともに、行配線群2をなす線状導体2aが、一方の基板8の流体層対向面8aよりも流体層10から離れた側に後退して配置されていることを特徴とする面圧分布センサを採用する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
流体層を挟んで対向する一対の基板と、一方の基板の前記流体層側に並列して形成された複数の線状導体からなる行配線群と、他方の基板の前記流体層側に並列して形成された複数の別の線状導体からなる列配線群とを有し、前記線状導体と前記別の線状導体とが相互に交差するように配置され、かつ各線状導体の各交差部に静電容量が形成されてなり、
前記行配線群が前記一方の基板に埋め込まれるとともに、前記行配線群をなす前記線状導体が、前記一方の基板の流体層対向面よりも前記流体層から離れた側に後退して配置されていることを特徴とする面圧分布センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B7/28 A
, G01L5/00 101Z
2F051AA21
, 2F051AB06
, 2F051AC01
, 2F051BA07
, 2F063AA43
, 2F063BA29
, 2F063DA02
, 2F063DA05
, 2F063DD07
, 2F063HA01
, 2F063HA10
, 2F063KA01
