特許
J-GLOBAL ID：200903073266073502
コッセル回折像自動解析表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-224445
公開番号（公開出願番号）：特開平7-077504
出願日： 1993年09月09日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 コッセル回折像を高精度に観察でき、回折像から試料の方位および歪量を求めることができ、さらに求めた方位および歪量を自動的に表示できるコッセル回折像自動解析表示装置を提供する。【構成】 コッセル回折像観察装置1が、電子線発生装置11と、この電子線発生装置から発生した電子線を試料に照射して得られるコッセル回折像が投射される位置に配設した輝尽性蛍光板22-1と、この輝尽性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像を読み取る画像読み取り装置23-1と、この輝尽性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像を消去する画像消去装置24-1とからなり、さらに、画像処理・解析装置2が、結晶方位解析装置31と歪量解析装置32と表示装置33とから構成される。
請求項（抜粋）：
試料に電子線を照射して得られるコッセル回折像を観察するコッセル回折像観察装置と、このコッセル回折像観察装置により得られたコッセル回折像から試料の結晶粒の方位および歪を解析して表示する画像処理・解析装置とからなるコッセル回折像自動解析表示装置において、前記コッセル回折像観察装置が、電子線発生装置と、この電子線発生装置から発生した電子線を試料に照射して得られるコッセル回折像が投射される位置に配設した輝尽性蛍光板と、この輝尽性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像を読み取る画像読み取り装置と、この輝尽性蛍光板に蓄積されたコッセル回折像を消去する画像消去装置とからなり、さらに、前記画像処理・解析装置が、あらかじめ計算・作図された任意の解析指数面からのコッセルラインとコッセル回折像観察装置で得られたコッセル回折線との比較から、解析指数面と圧延面とのなす角度(Υ)およびこれら2面の交線が圧延方向となす角度(Φ)とを読み取り結晶方位を求める結晶方位解析装置と、前記コッセル回折像観察装置で得られたコッセル回折線の幅拡がり量を読み取り歪量を換算して求める歪量解析装置と、これら結晶方位解析装置で求めた結晶方位と歪量解析装置で求めた歪量とを表示する表示装置とからなることを特徴とするコッセル回折線自動解析表示装置。
引用特許：
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