特許
J-GLOBAL ID：200903073285680916
研磨盤等のチャック機構
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-114181
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291152
出願日： 1997年04月17日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【目的】チャック本体の表面にワークを貼着させて高精度な平坦な研磨加工を施し、研磨加工後、チャック本体の表面よりワークを取外してもワークの裏面の凹凸に影響を受けること無く、超高精度の平坦精度の鏡面加工、平坦加工を可能とするチャック機構を提供することを目的とする。【構成】チャック本体を弾性を有したビーズポーラスセラミックで形成したものであり、更に、チャック本体の表面側と裏面側とは硬度の相違するビーズポーラスセラミックで形成したものであり、加えて、チャック本体の表面側と裏面側との硬度は表面側を裏面側より硬いビーズポーラスセラミックで形成したものであり、更には、チャック本体の裏面側にポーラスセラミックで形成したチャック基台を介装したものである。
請求項（抜粋）：
中心辺へバキューム機構と接続させた貫通孔を備えたカップ状のチャックホルダーと、該チャックホルダーに嵌入させると共にワークを表面に貼着させるチャック本体とから成る研削盤等のチャック機構において、前記チャック本体を弾性を有したビーズポーラスセラミックで形成したことを特徴とする研磨盤等のチャック機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/04 E
, B24B 41/06 L
