特許
J-GLOBAL ID：200903073308380877
放射線検出装置、その製造方法及び放射線検出システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-145109
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341039
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 蛍光体基体とセンサーパネルとの貼り合わせの際に、蛍光体基板にたわみが生じないようにする。【解決手段】 CsI基板126と、接着剤108が塗布されたセンサーパネル107とを備えている。CsI基板126は、蛍光体基台であるアモルファスカーボン基板121と、アモルファスカーボン基板121の上に蒸着などによって形成された反射層であるアルミニウム層122と、アルミニウム層122の上に蒸着などによって550μm程度の厚さで形成された蛍光体層であるCsI層123と、CsI層123が形成されていない5mmほどの被形成領域124に紫外線硬化型アクリル系樹脂などで接着された厚さが450μm程度の緩衝材であるPET材127と、CsI層123上に形成されたCsI保護膜とを備えている。
請求項（抜粋）：
放射線を光に変換する蛍光体が形成されている第1基板と、前記蛍光体で変換された光を電荷に変換する光電変換素子が形成されている第2基板とを圧着してなる放射線検出装置の製造方法において、前記第1基板の蛍光体が形成されていない領域と第2基板の光電変換素子が形成されていない領域との間に緩衝材を設けてから該第1基板と該第2基板とを圧着することを特徴とする放射線検出装置の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01T 1/20 B
, G01T 1/20 E
, H01L 31/00 A
2G088EE01
, 2G088EE29
, 2G088FF02
, 2G088GG19
, 2G088JJ05
, 2G088JJ37
, 5F088BA16
, 5F088BB03
, 5F088BB07
, 5F088JA17
, 5F088LA07
, 5F088LA08
