特許
J-GLOBAL ID：200903073318000657
粒子計測装置および粒子計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-092888
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283911
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 低圧力下で簡易かつ高精度に粒子径個数分布を計測する。【解決手段】 本発明の粒子計測装置1は、プラズマ発生器11と、荷電粒子カウンタ12と、正の高電圧を発生する電源13と、フィルタ14およびポンプ15と、粒子径を演算する粒子径個数分布演算部16とを備える。プラズマ発生器11は、対向配置された正電極17および負電極18と、正電極17上に設けられた荷電粒子カウンタ12とを有する。プラズマ放電下では、被測定粒子は、電極17,18間の電圧に応じた飛行軌跡を描くことに着目し、荷電粒子カウンタ12を適当な位置に設けて、電極17,18間に印加する電圧を変化させ、各電圧ごとに、特定の粒子径の被測定粒子を荷電粒子カウンタ12で捕集する。これにより、低圧力下で、被測定粒子の粒子径個数分布を簡易かつ精度よく検出することができる。
請求項（抜粋）：
第1および第2の電極間に電圧を印加して放電を起こさせる電圧供給部と、前記第1および第2の電極間に放電を起こさせた状態で、前記第1の電極から前記第2の電極に向けて被測定粒子を含むガスを供給する粒子供給部と、前記第2の電極上の所定の位置に衝突する被測定粒子の個数を計測する衝突数計測部と、前記第1および第2の電極間に印加された電圧と、前記衝突数検出部で計測された個数と、前記ガスの流速とに基づいて、被測定粒子の粒子径を演算する粒子径演算部と、前記第1および第2の電極間に印加する電圧を変化させて前記粒子径演算部による演算を行うことにより、被測定粒子の粒子径に応じた粒子の個数分布を求める粒子径個数分布演算部と、を備えることを特徴とする粒子計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 15/02 D
, G01N 27/60 C
