特許
J-GLOBAL ID：200903073324900953
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-163851
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014367
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 角速度検出精度の向上。角速度が加わっていないときの角速度信号の偏倚を抑制。【解決手段】 シリコン基板1にx方向には可動、y方向には不動に支持された導電性ポリシリコン半導体薄膜の第1浮動体2;これにx方向には不動、y方向には可動に支持された第2浮動体3;第1浮動体2をx方向に振動駆動する手段4,5,15;第2浮動体3のy方向変位を検出する変位検出手段6a,6b,7a,7b,12,13,17;および、変位信号を角速度信号に変換する変換手段18;を備える。第1浮動体2はx,y平面上で矩形リング21であり、第1および第2浮動体2,3の重心位置が同一。第1浮動体2はy方向に延びる梁22a〜dで浮動支持した。第2浮動体3はx方向に延びる梁32a〜32dで浮動支持した。
請求項（抜粋）：
基板;該基板にx方向には可動に、y方向には実質上不動に支持された第1可動体;第1可動体にx方向には実質上不動に、y方向には可動に支持された第2可動体;第1可動体をx方向に振動駆動する励振手段;第2可動体のy方向変位を検出する変位検出手段;および、該変位検出手段が発生する変位信号を角速度信号に変換する変換手段;を備える角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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