特許
J-GLOBAL ID：200903073325899754
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-113910
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300570
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 検出捩れ振動子13の捩れ振動の外部伝搬エネルギ損失を緩和して、検出捩れ振動子のQ値の低下を抑制し、角速度センサを高分解能にする。【構成】 固定駆動電極18の外側に音叉振動子12を、音叉振動子12の外側に連結部26a,26bを介して検出捩れ振動子13を、検出捩れ振動子13の外側に連結部27a,27bを介して緩衝捩れ振動子15を、緩衝捩れ振動子15の外側に連結部28a,28bを介して固定枠14cを、それぞれ配設する。音叉振動している音叉振動子12が音叉軸回りに回転することによりコリオリ力が発生し、このコリオリ力による検出捩れ振動子13の捩れ振動は、緩衝捩れ振動子15により緩和されて固定枠14cに伝搬するので、捩れ振動の外部伝搬エネルギ損失が小さくなり、検出捩れ振動子13のQ値の低下が抑制されるため、角速度の検出分解能は良くなる。
請求項（抜粋）：
駆動入力によって音叉振動を行い、音叉軸回りの回転作用を受けてコリオリ力による音叉軸回りのトルクを発生する音叉振動子と、前記音叉振動子が発生するトルクによって捩れ振動を行う検出捩れ振動子とを備え、前記検出捩れ振動子の振動の大きさによって音叉軸回りの回転角速度を検出する角速度センサであって、前記検出捩れ振動子の外側には該検出捩れ振動子の捩れ振動の外部伝搬エネルギ損失を緩和する緩衝捩れ振動子が設けられている角速度センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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