特許
J-GLOBAL ID：200903073331123210
マイクロリレー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-557065
公開番号（公開出願番号）：特表2003-522379
出願日： 2001年02月01日
公開日（公表日）： 2003年07月22日
要約：
【要約】本発明は、回転可能であるように基板(1)上に支持されたスイッチ素子(9)を含むマイクロリレーに関する。上記スイッチ素子は、ロッカーのように、適切に取り付けられた電極(51、52、6)による静電引力によって2つの交替するスイッチモード間を移行され得る。上記スイッチは、上記ロッカーの上にある上記基板上に取り付けられ、そして上記スイッチ素子の上側のメタライゼーション(71、72)によって短絡された電極(31、32)によって始動される。
請求項（抜粋）：
静電的に動作するマイクロリレーであって、 基板(1)上に移動可能に取り付けられ、そしてロッカーとして形成された、スイッチング部(9)と、 該基板(1)上に取り付けられ、そして別々の電気端子が設けられた2つの部分(31a、31b)を有する、コンタクト電極(31)と、 該スイッチング部(9)に取り付けられたコンタクト電極(71)と該基板(1)上に取り付けられた2つのアクチュエータ電極(51)と、 該スイッチング部(9)上に配置されたアクチュエータ電極(6)であって、該基板(1)上に取り付けられたアクチュエータ電極(51、52)は、電位を該アクチュエータ電極(51、52)に交互に印加することによって、該スイッチング部(9)がロッキング移動して2つのスイッチング位置間を交互に移動し得るように、該スイッチング部(9)に取り付けられたアクチュエータ電極(6)に対して配置されている、アクチュエータ電極(6)とを含み、該基板(1)上に取り付けられた該コンタクト電極は、該スイッチング部(9)の該基板とは反対の側に配置されており、これにより、該スイッチング位置のうちの1つにおいて、該スイッチング部(9)に取り付けられた該コンタクト電極(71)が2つの部分(31a、31b)を短絡させる、マイクロリレー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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