特許

J-GLOBAL ID：200903073331951628

プラズマ噴流化学蒸着装置及び平面でない表面をダイヤモンド被覆する方法

発明者： ヘンリー ウインディシュマン ,  セシル ビー.シェパード,ジュニア ,  ドナルド オー.パッテン,ジュニア
出願人/特許権者： サンーゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-339446
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181843
出願日： 2000年11月07日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】 平面でない表面に均一の厚さで温度勾配が最小のダイヤモンド被覆を形成する。【解決手段】 目的物の平面でない表面に化学蒸着ダイヤモンド被覆を形成する装置は、該装置により生成されたダイヤモンド形成試薬によりダイヤモンド被覆に抵抗しまた比較的高い蒸着温度に耐えるようになっている偏向表面を有する偏向板を含んでいる。偏向板は化学蒸着エンジンの分配ヘッドの軸線と共に実質的に軸方向に配置されている。偏向板はほぼくさび形状又は円錐形であり偏向板を比較的高速度で回転するようになっているモーターに連結される。マンドレルが偏向板の周り又は一側に配置される。偏向板は、分配ヘッドを出る噴流が偏向板によりマンドレル上に位置する目的物の表面上で偏向される。目的物の表面は平面となっていない。

請求項（抜粋）：

目的物の基板表面にダイヤモンド被覆を蒸着するためのプラズマ噴流化学蒸着装置であって、(a)プラズマ噴流を発生する手段と、前記プラズマ噴流が流出するよう通過しまた噴流軸線を区画形成している分配ヘッドとを有する、プラズマ噴流装置と、(b)目的物を配置することのできる平面を区画形成しているマンドレルと、(c)前記噴流軸線と前記平面とに対して傾斜した偏向表面を有する偏向板と、(d)前記分配ヘッド、前記マンドレル、及び前記偏向板の少なくとも一部を取巻く蒸着室とを具備しているプラズマ噴流化学蒸着装置。

IPC (4件)：

C23C 16/27 ,  B05D 3/10 ,  C23C 16/513 ,  C30B 29/04

FI (4件)：

C23C 16/27 ,  B05D 3/10 E ,  C23C 16/513 ,  C30B 29/04 B