特許
J-GLOBAL ID：200903073333675326
冷却機とその運転方法及び冷却機を備えた半導体装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-022783
公開番号（公開出願番号）：特開平8-219568
出願日： 1995年02月10日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 常温において効率的に排熱を行うことができる機械式冷却機及びそれを使用した冷却方法を提供する。【構成】 内部空間を有する容器と該内部空間に充填された蓄冷材とを含み、該内部空間の一端から圧力が脈動する作動ガスの供給及び回収が行われ、該内部空間を移動する作動ガスと熱交換を行う蓄冷器と、内部空洞を有し、該内部空洞の一端が前記蓄冷器の内部空間の他端に接続されたパルスチューブと、前記パルスチューブの内部空洞の他端に接続され、作動ガスを蓄積して前記パルスチューブの内部空洞との間で作動ガスを輸送するリザーバタンクとを有し、前記蓄冷器の内部空間のうち蓄冷材が充填された部分の長さ及び前記パルスチューブの内部空洞の長さは10〜20mmである。
請求項（抜粋）：
内部空間を有する容器と該内部空間に充填された蓄冷材とを含み、該内部空間の一端から圧力が脈動する作動ガスの供給及び回収が行われ、該内部空間を移動する作動ガスと熱交換を行う蓄冷器と、内部空洞を有し、該内部空洞の一端が前記蓄冷器の内部空間の他端に接続されたパルスチューブと、前記パルスチューブの内部空洞の他端に接続され、作動ガスを蓄積して前記パルスチューブの内部空洞との間で作動ガスを輸送するリザーバタンクとを有し、前記蓄冷器の内部空間のうち蓄冷材が充填された部分の長さは10〜20mmである冷却機。
IPC (2件)：
F25B 9/00 311
, H01L 23/473
F25B 9/00 311
, H01L 23/46 Z
