特許
J-GLOBAL ID：200903073335604744
熱分解窒化ホウ素膜及び被覆物品
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-264015
公開番号（公開出願番号）：特開平6-219899
出願日： 1992年08月21日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：
【要約】【目的】黒鉛基体との密着力の大きい熱分解窒化ホウ素膜、及びこの膜で被覆された黒鉛被覆物品を提供する。【構成】主として非晶質ないしランダム配向した乱層構造からなり、かつ電子線回折において六方晶窒化ホウ素単結晶の回折パターンを示す熱分解窒化ホウ素膜、及び黒鉛基体の表面に上記窒化ホウ素膜、ついで主として配向した乱層構造ないし六方晶構造からなる熱分解窒化ホウ素膜が形成されている被覆物品。
請求項（抜粋）：
主として非晶質ないしランダム配向した乱層構造からなり、かつ電子線回折において六方晶窒化ホウ素単結晶の回折パターンを示す熱分解窒化ホウ素膜。
IPC (3件)：
C30B 29/38
, C23C 16/34
, C30B 15/10
