荷電粒子ビームを用いた自動基板検査の装置及び方法

発明者： , , , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-361084
公開番号（公開出願番号）：特開2002-250707
出願日： 1993年05月26日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】欠陥の検出及び分類を高速で行うことができる、荷電粒子を用いた自動基板検査装置及び方法を提供すること。【解決手段】電子線を供給する放射電子線源と、電子線を導入し屈折させて基板上に電子線を掃引させる偏向手段を有する荷電粒子制御手段と、基板から発生する荷電粒子線を検出する検出器と、基板を載せて少なくとも1方向に連続動作するX-Yステージと、検出器と電気的に接続しており、検出器からの信号を処理して、基板のある部分の画像データを生成し、参照画像データと比較して、欠陥を同定するコンピュータとを具備し、更に第1室と第2室を有する真空系を導入し、別の真空値に独立に調整出来る様にして、第1基板が一方の真空室に入出している間、第2の基板を他の真空室内に於て検査を実施する。

請求項（抜粋）：

基板の検査装置に於て、電子線をシステムに供給する電界効果型の放射電子線源と、該電界効果型放射電子線源から電子線を導入し、該電子線を屈折させて制御し基板上に電子線を掃引させる偏向手段を有する荷電粒子制御手段と、該基板から放射発生する3種の荷電粒子線、即ち、2次荷電粒子と後方散乱荷電粒子と透過荷電粒子、の少なくとも1つを検出する少くとも1つの荷電粒子検出器と、該基板が荷電粒子にて掃引される間、該基板を載せて少なくとも1方向に連続動作するX-Yステージと、画像の欠陥を解析するコンピュータであって前記少なくとも1つの荷電粒子検出器と電気的に接続しており、前記少なくとも1つの荷電粒子検出器からの信号を処理して、前記基板の第1部分に対応する画像データを生成し、前記画像データを参照画像データと比較して、欠陥を同定する多重プロセスコンピュータと、を具備し、更に第1室と第2室を有する真空系を導入し、それぞれ別の真空値に独立に調整可変出来る様に構成して、第1基板が2つの真空室の1に入出している間、一方第2の基板を他の真空室内に於て検査を実施出来る基板の自動検査装置システム。

IPC (9件)：

G01N 23/225 , G01N 23/04 , G01N 23/203 , G01R 31/28 , G01R 31/302 , G03F 1/08 , G03F 1/16 , H01L 21/027 , H01L 21/66

FI (9件)：

G01N 23/225 , G01N 23/04 , G01N 23/203 , G03F 1/08 S , G03F 1/16 F , H01L 21/66 J , G01R 31/28 M , G01R 31/28 L , H01L 21/30 502 V

Fターム (38件)：

2G001AA03 , 2G001AA09 , 2G001BA07 , 2G001BA11 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001FA06 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001GA13 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA03 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA01 , 2G001PA02 , 2G001PA13 , 2G132AA00 , 2G132AD15 , 2G132AE16 , 2G132AE22 , 2G132AF12 , 2G132AL09 , 2G132AL11 , 2H095BA10 , 2H095BD04 , 2H095BD14 , 2H095BD27 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106DB05 , 4M106DB20 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平3-081940

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