特許
J-GLOBAL ID：200903073336146073
マイクロ波プラズマ処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-229679
公開番号（公開出願番号）：特開平6-073566
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：
【要約】【構成】マイクロ波を利用したプラズマ処理装置において、内部にモードパスフィルター7を有する共振器6を設けるように構成した。また上記共振器6として円形TE12共振器を用い、上記モードパスフィルター7として円形TE12モードパスフィルターを用いるよう構成した。【効果】共振器6の安定性が向上したので、より安定なプラズマを生成し、再現性良くプラズマ処理することが可能になった。
請求項（抜粋）：
マイクロ波を利用したプラズマ発生装置と減圧可能な処理室とガス供給装置と真空排気装置よりなるプラズマ処理装置において、内部にモードパスフィルターを有する共振器を設けたことを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
IPC (3件)：
C23F 4/00
, H01L 21/302
, H05H 1/46
