特許
J-GLOBAL ID：200903073342505794
表面生成型イオン発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-346455
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196115
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】イオン加速器に使用する表面生成型イオン発生装置に関し、荷電変換電極の冷却水による腐食を低減し、荷電変換用電極の寿命の長い表面生成型イオン発生装置を得ることを目的とする。【構成】荷電変換用電極4を冷却水によって直接冷却するように構成された表面生成型イオン発生装置において、荷電変換用電極4の電極外面部4aをモリブデンにより構成するとともに、冷却水と接する電極内面部4bを銅により構成する。また、荷電変換用電極4を冷却水によって間接冷却するように構成された表面生成型イオン発生装置において、モリブデンからなる荷電変換用電極4と接触する間接冷却用の支持棒8として良熱伝導材を用い、該支持棒8と荷電変換用電極4との接触面に柔軟性に富んだ金属製の伝熱シート19を挟むことにより構成する。
請求項（抜粋）：
荷電変換用電極を冷却水によって直接冷却するように構成された表面生成型イオン発生装置において、荷電変換用電極の電極外面部をモリブデンにより構成するとともに、冷却水と接する電極背面部を銅により構成したことを特徴とする表面生成型イオン発生装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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