液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置およびそれを用いた液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-101741
公開番号（公開出願番号）：特開平9-288267
出願日： 1996年04月23日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【解決手段】液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置の電圧印加電極として、加工した棒状白金棒に棒状テフロン12を被覆する。電解液に接する側が電極のおよそ中央部14より左側であり、この時電解液に接する側の金属部分11は、可能な限り小さな面積とする。端部には電解用電源から通電するためにリード線13を接続する。このようにして作製した電圧印加電極を電解槽に装着する。この装置を用いて、電極パターニング、レジスト塗布・パターニング、電解によるカラーフィルタ層の形成、レジストの剥離を基本とし、レジスト塗布以降を繰り返してR,G,Bを成膜する。【効果】繰り返し安定的にカラーフィルタ層が電解成膜できる。また、パソコン用等に用いるカラーフィルタが容易な方法で作製できる。

請求項（抜粋）：

透明基板上に形成した透明電極層をアノードとして、該透明電極層上に電解によりカラーフィルタ層を形成する液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置において、電解槽の外部から貫通穴を通して電解液中に挿入され、電解液中の透明電極層に所定電圧を印加するための電圧印加電極が、少なくともアノードとして電気化学的に安定な棒状金属からなり、少なくともその棒状金属の液中に接触する側の端部および槽外に位置する端部以外が、少なくともフッ素を含む樹脂で被覆されていることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置。

IPC (3件)：

G02F 1/1335 505 , C25D 13/00 305 , G02B 5/20 101

FI (3件)：

G02F 1/1335 505 , C25D 13/00 305 Z , G02B 5/20 101

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