特許
J-GLOBAL ID：200903073345023065
膜付きウエハの異物検出方法および異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-351735
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174655
出願日： 1992年12月08日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 アルミニューム薄膜が蒸着された膜付きウエハを対象とし、薄膜のグレインを可及的に除去して付着異物を検出する方法と、この方法を適用した異物検査装置を提供する。【構成】 膜付きウエハ1′に対する回転移動機構3と、膜付きウエハ1′の表面に対して15°〜20°の低角度でレーザビームを投射する投光系4と、それぞれ複数の光ファイバーのバンドル511,512 と光電子増倍管521,522 よりなり、アルミニューム薄膜とその付着異物の散乱光を、ほぼ45°以上の高角度範囲と、ほぼ45°以下の低角度範囲で、それぞれ複数のラジアル方向で受光する高角度受光系5A、および低角度受光系5Bを具備する。
請求項（抜粋）：
アルミニューム薄膜が蒸着された膜付きウエハの表面に対して、15°〜20°の低角度でレーザビームを投射してスパイラル走査し、前記アルミニューム薄膜と該薄膜の付着異物の散乱光を、ほぼ45°以上の高角度範囲と、ほぼ45°以下の低角度範囲で、それぞれ複数のラジアル方向で受光し、該高角度範囲と低角度範囲で受光された各受光信号を、適当な閾値によりノイズを除去して高角度検出信号と低角度検出信号を検出し、同一時点における該高角度検出信号と低角度検出信号を比較し、該高角度検出信号が低角度検出信号より小さいとき、該両検出信号を前記アルミニューム薄膜によるものと判定し、該高角度検出信号が低角度検出信号より大きいとき、該両検出信号を前記付着異物によるものと判定して異物データを出力することを特徴とする、膜付きウエハの異物検出方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H01L 21/66
