特許
J-GLOBAL ID：200903073347752447
レンズ系光軸調整方法およびレンズ系光軸調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182707
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013388
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 レンズ系の光軸調整を自動的に行なう。【解決手段】 チャート24の2方向の直線パターンを被調整レンズであるレンズF1 を含むレンズ系Fを経てセンサ5aの撮像面に結像させ、2組の直線状のチャート像の照度分布からレンズF1 の偏心に起因するコマフレア量を算出し、偏心補正量を求めてXY微動ステージ12を駆動し、レンズF1 を微動調整する。この微調工程のまえに、レンズF1 をステップ移動させ、最大輝度のデータ列から微調範囲を設定する粗調整の工程を設ける。粗調整を行なうときは、反射ミラー4bによって光路を分割し、コリメータレンズ4cを経て、第2のセンサ5bにチャート像を結像させる。
請求項（抜粋）：
被調整レンズ系を光学系の光軸に対して垂直に2次元的に微動させる微駆動ステージ手段と、前記光軸に垂直な2方向の直線パターンを有するチャートと、前記チャートの前記2方向の直線パターンを前記被調整レンズ系を経てセンサに投影して2組の直線チャート像を得る投影光学系と、前記2組の直線チャート像の照度分布を前記2方向にそれぞれ検出し、各照度分布からその最強照度点を中心とするコマフレア量を算出する演算手段と、前記コマフレア量から得られた偏心補正量に基づいて前記微駆動ステージ手段を制御する制御手段と、前記投影光学系の光路を分割する光路分割手段および第2のセンサを含む粗調整光学系を有するレンズ系光軸調整装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 7/00 E
, G02B 7/02 C
