特許
J-GLOBAL ID：200903073349673811
真空炉用炉床
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
乾 昌雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-179176
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346290
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 表面の荒れや粉状化を抑制でき長期の使用に耐える炭素繊維複合炭素材製の真空炉用炉床を提供する。【構成】 バツチ式真空焼結炉用の炉床10の支持台12および支脚11部を炭素繊維強化炭素材で構成し、これら各部の表面にPVD法やCVD法によりガス遮蔽性を有する被膜を被着させる。
請求項（抜粋）：
炭素繊維複合炭素材を構成材料とする真空炉用炉床において、前記炭素繊維複合炭素材で構成された部分の表面に、ガス遮蔽性を有する被膜を被着したことを特徴とする真空炉用炉床。
IPC (2件)：
引用特許：
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