加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-239280
公開番号（公開出願番号）：特開平5-080071
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】ゲージ部の構造をシリコン基板の3層構造にすることにより、接合時に発生する接合歪み低減,ナトリウム析出を抑える。【構成】シリコン微細加工技術によって、カンチレバーの先端に形成した可動電極を含むシリコン基板に対向した両側に酸化膜を形成したシリコン基板(可動電極と対向した部分だけは、酸化膜を除去)をウエハ直接接合で接合する。

請求項（抜粋）：

片持ち梁を形成した加速度センサ・ゲージ部の構成部材を全てシリコンで形成したことを特徴とする加速度センサ。

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