クリーンルーム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：今岡良夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-119985
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296510
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：

【要約】【目的】コストを低減し、稼働率を向上させ、保守・点検を容易にし、騒音の減少と送風の均一化を図り、ファンの取り替えを容易にしようとするにある。【構成】天井のサプライチャンバーをファンチャンバーとフィルタチャンバーとの上下二層に形成し、その上層のファンチャンバーと下層のフィルタチャンバーとの境界部には、各所に複数の窓孔を配した仕切パネルを設けて、各窓孔にファンと盲板とのいずれか一方若しくはファン及び消音手段、気流分布改善手段等を備えたファン接続筐と盲板とのいずれか一方を交換可能に装着し、又は、各窓孔にチャッキダンパー等を有するファン接続筐若しくはチャッキダンパーのみを設けて、各ファン接続筐若しくは各窓孔にファンを着脱自在に装着し、また、下層のフィルタチャンバーとクリーン内室との境界部には、適宜フィルタ天井を設け、前記ファンチャンバーとクリーン内室との間に帰還風路を連通させて成る。

請求項（抜粋）：

天井のサプライチャンバーをファンチャンバーとフィルタチャンバーとの上下二層に形成し、その上層のファンチャンバーと下層のフィルタチャンバーとの境界部には、各所に複数の窓孔を配した仕切パネルを設けて、各窓孔にファンと盲板とのいずれか一方を交換可能に装着し、また、下層のフィルタチャンバーとクリーン内室との境界部には、適宜フィルタ天井を設け、前記ファンチャンバーとクリーン内室との間にレタンチャンバー、レタンダクト等の帰還風路を連通させたことを特徴とするクリーンルーム。

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