特許

J-GLOBAL ID：200903073372363625

レジスト膜付きマスクブランクスの収納方法

発明者： 草木 渉 ,  小板橋 龍二
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-272638
公開番号（公開出願番号）：特開2004-109557
出願日： 2002年09月19日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】レジスト膜付きマスクブランクスをケース中に収納してある程度長期間滞在させた場合でも、そのレジストの感度変動を十分に小さく抑えることができる収納方法を提供する。【解決手段】少なくとも、マスクブランクスにレジストを塗布し、その後加熱処理して作製したレジスト膜付きマスクブランクスをケースに収納する方法であって、該ケース中に、レジスト膜付きマスクブランクスと共に、溶媒放散レジストを塗布した基板を収めることを特徴とするレジスト膜付きマスクブランクスの収納方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

少なくとも、マスクブランクスにレジストを塗布し、その後加熱処理して作製したレジスト膜付きマスクブランクスをケースに収納する方法であって、該ケース中に、レジスト膜付きマスクブランクスと共に、溶媒放散レジストを塗布した基板を収めることを特徴とするレジスト膜付きマスクブランクスの収納方法。

IPC (2件)：

G03F1/14 ,  H01L21/027

FI (2件)：

G03F1/14 M ,  H01L21/30 503E

Fターム (6件)：

2H095BC01 ,  2H095BC04 ,  2H095BC27 ,  2H095BE12 ,  5F046AA21 ,  5F046CD02