静圧軸受パッド

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-002086
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199522
出願日： 1999年01月07日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】剛性や負荷容量を大きく且つニューマチックハンマの不安定振動を発生しにくくすることができ、剛性と安定性との両立を可能とする。【解決手段】多孔質部材1の軸受面中央部の座ぐり5と貫通孔6とを設けて、そこにねじ部材7を挿通し、当該ねじ部材7のねじ部を本体2のねじ孔8に螺合し締め付けて多孔質部材1を本体2に取り付けると共に、本体2と多孔質部材1との間には円環状の給気キャビティ3を設けて、給気孔4から給気キャビティ3に給気された気体が多孔質部材1の軸受面から噴出するように構成した静圧軸受パッドにおいて、多孔質部材1の軸受面外径d0 と座ぐり径d1 との比d1 /d0を0.2以上0.6以下とすることで、動剛性と減衰係数を高くすると共に負荷容量を大きくする。

請求項（抜粋）：

本体の凹部に多孔質部材を取付け、当該本体と多孔質部材との間には円環状の給気キャビティを設けて、この給気キャビティに給気された気体が当該給気キャビティとは反対側の多孔質部材の軸受面から噴出するように構成すると共に、前記多孔質部材には、前記軸受面の中央部の座ぐりと、当該座ぐりに連通する貫通孔とを設けて、その座ぐりと貫通孔とにねじ部材を挿通し、当該ねじ部材のねじ部を本体のねじ孔に螺合し締め付けて多孔質部材を本体に取り付けた静圧軸受パッドにおいて、前記多孔質部材の軸受面外径d0 と座ぐり径d1との比d1 /d0 が0.2以上0.6以下であることを特徴とする静圧軸受パッド。

Fターム (11件)：

3J102AA02 , 3J102BA03 , 3J102BA09 , 3J102BA18 , 3J102CA10 , 3J102EA02 , 3J102EA06 , 3J102EA17 , 3J102EA18 , 3J102FA08 , 3J102GA07

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平3-239810
気体静圧軸受け装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-346586 出願人：株式会社ニコン
静圧気体軸受け
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-256457 出願人：新日本製鐵株式会社

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