特許

J-GLOBAL ID：200903073374825154

アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタ

発明者： 角 浩二 ,  小嶋 輝人
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136065
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326506
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】 従来の圧電アクチュエータよりも変位量が大きく、駆動特性に優れたアクチュエータを提供する。【解決手段】 本発明のアクチュエータ(13)は、相転移膜(9)、上部電極(82)、下部電極(81)及び発熱体(6)を備えている。かかる相転移膜(9)は、上部電極(82)と下部電極(81)間に印可された電界によって膜内部に応力が生じ、当該応力に起因して結晶構造が相転移することで歪みを生じる薄膜である。発熱体(6)は相転移膜をキュリー点TC付近の温度Tに調整する。このような構成によれば、相転移膜(9)をキュリー点付近に温度調整し、電界を印可すると、相転移膜(9)には応力が掛かる。相転移膜に引っ張り応力が掛かるように構成すれば、キュリー点は高温側へシフトする。この結果、相転移膜は結晶構造が相転移し、歪みを生じる。かかる歪みによってアクチュエータを実現できる。

請求項（抜粋）：

外部から印可された電界によって膜内部に応力が生じ、当該応力に起因して結晶構造が相転移することで歪みを生じる相転移膜と、前記相転移膜に電界を印可する電極と、前記相転移膜をキュリー点TC付近の温度Tに調整する発熱体と、を備えるアクチュエータ。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 J

Fターム (14件)：

2C057AF03 ,  2C057AF52 ,  2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AP77 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 圧電素子の使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-014830   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 特開昭63-213380