特許
J-GLOBAL ID：200903073376145630
搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-302979
公開番号（公開出願番号）：特開平8-139064
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 コストの低減等を達成した搬送装置を提供すること。【構成】 移動台41上のカセット9を検知する検知手段として、固定側に設けた光センサ61、62と、可動側としての移動台41上に設けたミラー65乃至68とにより構成されるものを採用し、以て、光センサの数を少く抑え、上記の効果を得ている。
請求項（抜粋）：
被搬送物を担持して移動する移動台を含み、該被搬送物に対する所定作業を夫々施すべき複数の作業位置を経るべく該被搬送物を搬送する搬送手段と、該作業位置各々における前記移動台上の被搬送物を検知するための検知手段とを備え、該検知手段は、発光素子及び受光素子を有して固定側に設けられて該発光素子から前記移動台の移動方向に光を照射すると共に該受光素子への入射光に基づいて検知信号を発する光センサと、前記移動台上に前記被搬送物を挟むように一対設けられて一方が前記発光素子からの照射光を他方に向けて反射する反射手段とを有することを特徴とする搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, G01V 9/00
, G01V 8/14
, H01L 21/68
