特許
J-GLOBAL ID：200903073380257281
紫外線レーザ用光学装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-196428
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026838
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 光学系を窒素ガス封入するためのチャンバーを有し、窒素ガス置換のための時間を短縮できる紫外線レーザ用光学装置を提供する。【解決手段】 本紫外線レーザ用光学装置は、紫外線レーザを取り扱う光学系(ミラー100、レンズ101等)と、この光学系を窒素ガス中に封入するためのチャンバー48を備える。窒素ガスを供給する元管1とチャンバー48との間に窒素ガス貯蔵タンク6が設けられている。窒素置換時に使用する大量のクリーンな窒素ガスをチャンバーの近くに貯留しておけば、より短時間に大量の窒素ガスをチャンバー内に送り込むことができる。
請求項（抜粋）：
紫外線レーザを取り扱う光学系と、この光学系を窒素ガス中に封入するためのチャンバーと、を含む紫外線レーザ用光学装置であって;該装置には、該チャンバー内に窒素ガスを供給する元管が接続されているとともに、該元管と上記チャンバーとの間に窒素ガス貯蔵タンクが設けられていることを特徴とする紫外線レーザ用光学装置。
IPC (5件)：
H01S 3/02
, B23K 26/00
, G03F 7/20 502
, H01S 3/034
, H01S 3/225
H01S 3/02 Z
, B23K 26/00
, G03F 7/20 502
, H01S 3/03 G
, H01S 3/223 E
