特許
J-GLOBAL ID：200903073383252507
ボンディング装置における傾斜調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-301748
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132357
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 ボンディングツール及びボンディングプレートの相対傾斜角度の調整が迅速になされ、しかも、調整に伴う人為的な誤りの発生を防止した傾斜調整装置を提供すること。【構成】 圧電アクチュエータ等から成る変位手段の作動によってボンディングツール8とボンディングプレート2の相対傾斜角度の調整が自動的に行われるので、従来行われていた作業者による傾斜調整作業が不要となり、被ボンディング部品の品種変更に伴うボンディングツールの交換時間の大幅な短縮及びその簡略化が達成される他、作業者による誤調整に基づく問題も回避され、生産性が向上する。
請求項（抜粋）：
ツールホルダに傾斜可能に取り付けられて被ボンディング部品を押圧するためのボンディングツールの傾斜角度を調整するボンディング装置における傾斜調整装置であって、前記ツールホルダ及びボンディングツール間に介装された複数の変位手段を有することを特徴とする傾斜調整装置。
引用特許：
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