特許
J-GLOBAL ID：200903073386135048

非球面レンズ表面が隣接して配置されている投影対物レンズ

発明者：
シェファー,デイビッド・アール

シェファー,デイビッド・アール について

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シュスター,カール-ハインツ

シュスター,カール-ハインツ について

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バイエール,ヘルムート

バイエール,ヘルムート について


出願人/特許権者：
カール・ツアイス・スティフツング・トレーディング・アズ・カール・ツアイス

カール・ツアイス・スティフツング・トレーディング・アズ・カール・ツアイス について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-550065
公開番号（公開出願番号）：特表2003-535356
出願日： 2000年12月22日
公開日（公表日）： 2003年11月25日
要約：
【要約】少なくとも5つのレンズグループG1-G5と複数のレンズ表面とを備える投影対物レンズであって、少なくとも2つの非球面レンズ表面が互いに隣接して配置されている。この互いに隣接して配置されたレンズ表面を二重非球面と呼ぶ。この少なくとも1つの二重非球面(21)は、対物レンズの最大のレンズ直径(D2)よりも大きな、像平面0’からの最低間隔で配置されている。
請求項（抜粋）：
物体平面0と像平面0’をもつ、多数のレンズを備える投影対物レンズであって、互いに隣接して配置された少なくとも2つのレンズ表面が、以下において二重非球面と呼ぶ非球面である形式のものにおいて、二重非球面が、少なくとも対物レンズの最大レンズ直径(D2)の間隔で、像平面0’から間隔をおいて配置されており、二重非球面(21)のそれぞれの非球面レンズ表面(151.152,153,154)の間隔(23)は、二重非球面(21)の平均レンズ直径の半分のレンズ直径よりも小さいことを特徴とする投影対物レンズ。
IPC (4件)：
G02B 13/24 ,  G02B 13/18 ,  G02B 17/08 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G02B 13/24 ,  G02B 13/18 ,  G02B 17/08 A ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (29件)：
2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA02 ,  2H087NA04 ,  2H087NA14 ,  2H087PA15 ,  2H087PA17 ,  2H087PB20 ,  2H087QA02 ,  2H087QA06 ,  2H087QA14 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA32 ,  2H087QA41 ,  2H087QA45 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087RA32 ,  2H087RA42 ,  2H087TA01 ,  2H087TA03 ,  2H087TA05 ,  2H087UA02 ,  2H087UA03 ,  2H087UA04 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25
引用特許：
審査官引用 (6件)
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