特許

J-GLOBAL ID：200903073386242987

非接触表面形状測定装置

発明者： 渡辺 章人
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-323559
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146542
出願日： 1998年11月13日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】光の干渉を用いた非接触表面形状測定装置において、測定データの横分解能を高分解能に維持したまま1視野の面積を越える大面積の表面形状を測定することができる非接触表面形状測定装置を提供する。【解決手段】被測定面の干渉縞を撮像するCCDカメラの視野範囲P(図3(B))に対して被測定面の測定領域S(図3(A))が大きい場合に、その測定領域Sを複数の測定面P1〜P9(図3(C))に分割し、且つ、各測定面P1〜P9が隣接する測定面と一部で重複するように分割する。そして、各測定面P1〜P9についてそれぞれCCDカメラで干渉縞の画像を取得し、干渉縞の画像に基づいて表面形状を示す形状データを求めた後、各測定面P1〜P9の形状データを測定面が重複する部分において一致するように補正し、補正した形状データを繋ぎ合わせて測定領域S全面の形状を示す形状データを生成する。

請求項（抜粋）：

被測定面で反射させた光と参照光との干渉によって生じた干渉縞を撮像手段によって撮像し、該撮像した干渉縞に基づいて前記被測定面の形状を測定する非接触表面形状測定装置において、前記被測定面の測定範囲を複数の領域に分割する手段であって、各領域の一部が他の領域と重複するように分割する測定範囲分割手段と、前記測定範囲分割手段によって分割した領域毎に前記撮像手段によって干渉縞の画像を取得する画像取得手段と、前記画像取得手段によって取得した画像に基づいて各領域の形状を示す形状データを算出する形状データ算出手段と、前記形状データ算出手段によって算出した各領域の形状データを、各領域の重複する部分において前記形状データが最も合致するように補正し、該補正した各領域の形状データを繋ぎ合わせて前記被測定面の測定範囲全体の形状を示す形状データを生成する形状データ補正手段と、を備えたことを特徴とする非接触表面形状測定装置。

FI (2件)：

G01B 11/24 D ,  G01B 11/24 K

Fターム (18件)：

2F065AA04 ,  2F065AA54 ,  2F065DD00 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ41 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 形状測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-332812   出願人：富士ゼロックス株式会社