特許

J-GLOBAL ID：200903073391572014

電極膜の製造方法

発明者： 若林 久雄 ,  林 俊哉
出願人/特許権者： ミヨタ株式会社 ,  シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-103443
公開番号（公開出願番号）：特開平9-270653
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】 従来の製造方法では振動片のマウント部周縁の電極膜が、蒸着マスクの側壁の陰のため薄くなる。その結果、マウント部周縁の電極膜が半田作業の工程で半田に食われてしまい、支持棒との接続不良、振動子の周波数シフト等々品質不良を生じ問題であった。【解決手段】 振動片の表裏に重ねる蒸着マスクの開口部の外周縁の厚みを蒸着マスクの板厚より薄く設定して開口部の陰を低減し、蒸着装置で電極膜を形成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空槽内で、複数個の圧電材の振動片を複数個の小孔を有する薄板状の蒸着ホルダーに収納し、該薄板状の蒸着ホルダーの表裏に、前記蒸着ホルダーの小孔より小さい開口部を有する一対の複数個の薄板状の蒸着マスクを重ねて前記振動片を挟持し、該振動片の表裏に電極膜を形成する製造方法において、前記表裏の薄板状蒸着マスクの開口部の外周縁の厚みを蒸着マスクの板厚より薄く設定して電極膜を形成することを特徴とする電極膜の製造方法。

IPC (4件)：

H03H 3/02 ,  C23C 14/50 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

H03H 3/02 B ,  C23C 14/50 F ,  H01L 41/08 L ,  H01L 41/22 Z