特許
J-GLOBAL ID：200903073400592058

ペリクル用薄膜およびペリクル

発明者：
篠原 弘信

篠原 弘信 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-102273
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295879
出願日： 1998年04月14日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：
【要約】【課題】 ペリクル膜とペリクル枠との接着性が改善され、かつ短波長域での光透過性に優れ、実使用において信頼性の高いペリクルを提供すること。【解決手段】 特定なノルボルネン誘導体よりなる単量体もしくはこの単量体と共重合可能な他の共重合性単量体を開環重合して得られる重合体またはその水素添加物からなる薄膜を用いてなるペリクル。
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)で表される少なくとも一種のノルボルネン誘導体よりなる単量体もしくはこの単量体と共重合可能な共重合性単量体を開環重合して得られる重合体の水素添加物からなるペリクル用薄膜。【化1】(式中、AおよびBは水素原子または炭素数1〜10の炭化水素基であり、XおよびYは水素原子または一価の有機基であって、XおよびYの少なくとも1つは水素原子および炭化水素基以外の極性を有する基を示し、mは0または1である。)
IPC (4件)：
G03F 1/14 ,  C08G 61/08 ,  H01L 21/027 ,  C08L 65/00
FI (5件)：
G03F 1/14 J ,  C08G 61/08 ,  C08L 65/00 ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 503 G
引用特許：
審査官引用 (3件)

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