特許
J-GLOBAL ID：200903073400854877
電子顕微鏡観察用試料の作成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-019447
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180739
出願日： 1992年01月07日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 特定観察場所の位置合わせ精度をプラスマイナス0.1 μm 程度にまで向上できる電子顕微鏡観察用試料の作成方法を提供する。【構成】 高倍率の光学顕微鏡を装着した高速回転外周刃加工装置の刃2 により光学顕微鏡で観察しながら電子顕微鏡に装着可能な幅に材料を切断して試料11を切り出す工程と、特定の観察場所に刻印を施す工程と、前記刻印を残して前記切断した試料11を断面凸の字状に加工する工程と、収束荷電粒子ビーム3 によるエッチングにより前記凸の字状の上面をさらに凸の字状に薄片化する工程とを含むことを特徴とする電子顕微鏡観察用試料の作成方法。
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡観察を必要とする材料に対して、高倍率の光学顕微鏡を装着した高速回転外周刃加工装置を用いて前記光学顕微鏡で観察しながら電子顕微鏡に装着可能な幅に前記材料を切断する工程と、特定の観察場所に刻印を施す工程と、前記刻印を残して前記切断した材料を断面凸の字状あるいはLの字状に加工する工程と、収束荷電粒子ビームによるエッチングにより前記凸の字状あるいはLの字状の上面をさらに凸の字状あるいはLの字状に薄片化する工程とを含むことを特徴とする電子顕微鏡観察用試料の作成方法。
IPC (5件)：
G01N 1/28
, H01J 37/20
, H01L 21/302
, H01L 21/66
, H01L 21/68
