特許
J-GLOBAL ID:200903073401108249

圧電振動子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 林 敬之助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-043732
公開番号(公開出願番号):特開2000-244274
出願日: 1999年02月22日
公開日(公表日): 2000年09月08日
要約:
【要約】【課題】 従来の振動子を製造する方法では、気密封止するときに加熱し、ろう材などの接合部材を溶融して封止するが、溶融する際に接合部材からガスが発生し、容器内の圧力が高くなり、気密性がたもたれないという問題があった。【解決手段】 スパッタ法やCVD法などの乾式方法で作成した金属膜は緻密な性質の膜が作成でき、現状使用されている接合部材に被覆することで加熱時の接合部材から発生するガスが抑制できると考えられ、接合時の接合界面近傍からのガス発生も被覆膜を2層以上かぶせることで防ぐことがる。
請求項(抜粋):
圧電振動子を固定する容器及び蓋に接合部材を有し、前記接合部材を介し気密封止する圧電振動子において、前記接合部材が接合部材を覆う被覆層と前記被覆層を覆う開口部を有する被覆層からなることを特徴とする圧電振動子。
Fターム (12件):
5J108BB02 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108GG03 ,  5J108GG09 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108GG18 ,  5J108GG20 ,  5J108KK04

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