特許

J-GLOBAL ID：200903073409201710

位置決め方法

発明者： 新開 洋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084459
公開番号（公開出願番号）：特開平9-252044
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】 アライメントを効率を向上しスループットを改善する。【解決手段】 粗アライメントされた後、被露光位置に搬入された被露光体を、プリアライメント手段と最終アライメント手段とを用いて位置決めする際に、まず、最終アライメントを行い、その最終アライメントが不可の場合にのみプリアライメントより順次追い込んでいく。

請求項（抜粋）：

粗アライメントされた後、被露光位置に搬入された被露光体を、プリアライメント手段と最終アライメント手段とを用いて位置決めする際に、まず、最終アライメントを行い、その最終アライメントが不可の場合にのみプリアライメントより順次追い込んでいくことを特徴とする位置決め方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 K ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 520 A ,  H01L 21/30 525 P