特許
J-GLOBAL ID：200903073414060520
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-109967
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288202
出願日： 1995年04月11日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 角形基板の周辺露光に際し、スループットを向上させる。【構成】 第1の駆動系24によって基板ステージ12と照明装置11がY軸方向に相対移動される際、照明装置11では、2つのスポット光SP1 、SP2 をY軸方向に直交するX軸方向に沿って互いに平行移動させつつ、基板ステージ12上にY軸方向に対し4辺が交差する状態で載置された矩形基板26の周辺部に照射する。これによれば、スポット光SP1 、SP2 は、直交2軸方向に相互に干渉することなく移動するので、スポット光SP1 、SP2 のX軸方向の移動と、基板ステージ12と照明装置11とのY軸方向の相対移動とを同期させることにより、一度の相対移動により、矩形基板26の周辺部を露光することが可能になる。
請求項（抜粋）：
表面に感光層が形成された矩形基板上に所定形状のスポット光を照射して前記感光層を感光させる露光装置であって、所定の基準面内の第1方向に対し4辺が交差する状態で前記矩形基板が載置される基板ステージと;少なくとも2つの前記スポット光を、前記第1方向及び前記4辺のそれぞれに交差する第2方向に沿って互いに平行移動させつつ前記基板ステージ上に載置された前記矩形基板の周辺部に照射する照明装置と;前記基板ステージと前記照明装置とを前記第1方向に沿って相対移動させる移動手段とを有する露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1335 530
, G02F 1/136 500
H01L 21/30 577
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1335 530
, G02F 1/136 500
, H01L 21/30 515 A
, H01L 21/30 518
, H01L 21/30 527
