特許
J-GLOBAL ID：200903073415283671
極低温冷却装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀田 実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-169204
公開番号（公開出願番号）：特開2005-003308
出願日： 2003年06月13日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
【課題】貯留タンク内の液体ヘリウムの液面が下がりすぎても運転を停止させる必要がなく、かつ、低温圧縮機により昇温されたヘリウムガスの熱エネルギーを有効利用することができる極低温冷却装置を提供する。【解決手段】低温圧縮機とクロードサイクル冷凍機の間から分岐する分岐ガスラインと、低温圧縮機から吐き出されるヘリウムガスの一部と貯留タンク内の液体ヘリウムとの間で熱交換を行う貯留タンク用熱交換器を設ける。貯留タンク用熱交換器内を流れるヘリウムガスの流量は、流量調節弁の弁開度を制御することにより行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液体ヘリウムを内部に保有する液体ヘリウム貯槽と、該液体ヘリウム貯槽の極低温のヘリウムガスを吸引し圧縮する低温圧縮機と、圧縮したヘリウムガスを常温で更に圧縮する常温圧縮機と、ヘリウムガスを熱交換して冷却するクロードサイクル冷凍機と、ヘリウムガスを断熱膨張させ液化させるJT膨張弁と、被冷却体を強制冷却した液体ヘリウムを一時的に貯留する貯留タンクとを備える極低温冷却装置において、
前記低温圧縮機から吐き出されるヘリウムガスの一部と前記貯留タンク内の液体ヘリウムとの間で熱交換を行う貯留タンク用熱交換器と、
該貯留タンク用熱交換器内を流れるヘリウムガスの流量を調節する流量調節弁とを備える、ことを特徴とする極低温冷却装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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