特許
J-GLOBAL ID:200903073415706580

X-Y平面における測定ヘッドの光学的アライメントのための方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-534702
公開番号(公開出願番号):特表2000-515625
出願日: 1997年03月19日
公開日(公表日): 2000年11月21日
要約:
【要約】2次元位置検知器が、動的なZ方向のおよび/またはムラのセンサと組み合わせて、ミスアライメントの動的な検知と測定ヘッドの動的な補正とを提供し、それにより、坪量のようなシート材料の特性の正確な決定を行う。
請求項(抜粋):
ヘッドアライメントの動的測定システムであって、 第1の平面上に配置されたシート材料の第1の側面上にスポットを照射する第1のヘッド手段と、 前記シート材料の前記第1の側面とは反対側の第2の側に配置され、2次元の光学的位置感知検知器上にスポットの像を焦光する第2のヘッド手段と、 前記光学的位置感知検知器上の前記像の位置に応じて前記第1のヘッド手段と前記第2のヘッド手段との間のミスアライメントを決定する手段とを具備することを特徴とするシステム。
IPC (5件):
G01B 11/00 ,  G01B 7/00 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/892 ,  G01N 23/08
FI (5件):
G01B 11/00 A ,  G01B 7/00 E ,  G01B 11/06 Z ,  G01N 21/892 A ,  G01N 23/08
引用特許:
審査官引用 (3件)

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