特許

J-GLOBAL ID：200903073416003770

流体センサ

発明者： 滑川 政彦 ,  柴田 和義 ,  武内 幸久 ,  中尾 成希
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-276510
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038789
出願日： 1996年10月18日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 センサ素子から信号を外部に取り出すための電極端子部を容易かつ確実に流体から気密に保持することができる流体センサを提供する。【解決手段】 振動部7を有する基体2と、振動部7の一方の表面に固定された、圧電膜4と圧電膜4に接して設けられた少なくとも一対の電極5a,5bとを有する圧電素子3と、基体2の表面にあって一対の電極5a,5bに電気的に接続する電極端子6と、電極端子6の周辺において基体2表面に設けられたコーティング材8と、基体2と押え板14a,14bとによって挾持され、電極端子6を取り囲むように形成された封止部材12とを有する流体センサである。コーティング材8と押え板14a,14bとによって封止部材12が挾持されることにより、電極端子6が被測定流体から気密に保持される。

請求項（抜粋）：

振動部を有する基体と、該振動部の一方の表面に固定された、圧電膜と該圧電膜に接して設けられた少なくとも一対の電極とを有する圧電素子と、該基体の表面にあって、該一対の電極に電気的に接続する電極端子と、該電極端子の周辺において該基体表面に設けられたコーティング材と、該基体と押え板とによって挟持され、該電極端子を取り囲むように形成された封止部材と、を有し、該コーティング材と該押え板とによって該封止部材が挟持されることにより、該電極端子が被測定流体から気密に保持されることを特徴とする流体センサ。

IPC (3件)：

G01N 11/16 ,  H01L 41/08 ,  H02N 2/00

FI (3件)：

G01N 11/16 Z ,  H02N 2/00 A ,  H01L 41/08 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 粘度測定装置及び流体の特性測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-112128   出願人：日本碍子株式会社
• 水晶振動子セル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-096252   出願人：セイコー電子工業株式会社
• 特開平4-032767
  
• センサ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-162187   出願人：日本碍子株式会社