ゲートアレイ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-058284
公開番号（公開出願番号）：特開2001-250951
出願日： 2000年03月03日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【目的】高速且つ高集積なSOI構造の基本セルを有するゲートアレイを得ること。【構成】半導体基板1上に酸化膜2を介して選択的にp型及びn型のSOI基板(3,4)が設けられ、SOI基板の両側に一部をSOI基板の側面に接して、メタルソースドレイン領域(10a、10b、10c) が設けられ、接触部のSOI基板にそれぞれのSOI基板と反対導電型の不純物からなる高濃度及び低濃度のソースドレイン領域(6,7,8,9) が設けられ、SOI基板の上面及びSOI基板に接するメタルソースドレイン領域の側面にゲート酸化膜が設けられ、ゲート酸化膜の内側の開孔部にバリアメタルを介してゲート電極が埋め込まれた構造からなるn型及びp型のMIS電界効果トランジスタが形成され、且つ隣接するn型及びp型のMIS電界効果トランジスタのソースドレイン領域を異チャネル間の共通のメタルソースドレイン領域10a として形成した構造を含むCーMOSからなる基本セルを有するゲートアレイ。

請求項（抜粋）：

半導体基板と、半導体基板上に絶縁膜を介して選択的に設けられた一導電型及び反対導電型のSOI基板と、前記SOI基板上に設けられたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極と、前記SOI基板に自己整合し、前記SOI基板の側面に一部を接して設けられたメタルソースドレイン領域と、前記メタルソースドレイン領域との接触部の前記SOI基板に互いに離間して設けられたそれぞれの前記SOI基板と反対導電型の不純物領域(ソースドレイン領域)とからなる一導電型及び反対導電型のMIS電界効果トランジスタを備え、且つ隣り合う前記一導電型及び反対導電型のMIS電界効果トランジスタの前記メタルソースドレイン領域が、前記一導電型及び反対導電型の不純物領域の双方に接する共通のメタルソースドレイン領域として形成された構造を有する前記一導電型及び反対導電型のMIS電界効果トランジスタからなる基本セルをマトリックス状に配設したことを特徴とするゲートアレイ。

IPC (7件)：

H01L 29/786 , H01L 27/118 , H01L 21/8238 , H01L 27/092 , H01L 21/8244 , H01L 27/11 , H01L 29/43

FI (7件)：

H01L 29/78 613 A , H01L 21/82 M , H01L 27/08 321 A , H01L 27/08 321 J , H01L 27/10 381 , H01L 29/46 R , H01L 29/78 616 S

Fターム (115件)：

4M104AA01 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB14 , 4M104BB18 , 4M104BB30 , 4M104DD08 , 4M104DD19 , 4M104DD26 , 4M104DD37 , 4M104DD43 , 4M104DD66 , 4M104DD75 , 4M104FF13 , 4M104FF22 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 4M104HH16 , 5F048AA00 , 5F048AA01 , 5F048AA04 , 5F048AA07 , 5F048AB02 , 5F048AB03 , 5F048AC04 , 5F048BA16 , 5F048BB04 , 5F048BB09 , 5F048BB11 , 5F048BB13 , 5F048BB19 , 5F048BC06 , 5F048BC11 , 5F048BF02 , 5F048BF07 , 5F048BF16 , 5F048BG05 , 5F048BG14 , 5F064AA03 , 5F064CC12 , 5F064DD19 , 5F064DD24 , 5F064EE19 , 5F064EE33 , 5F064GG01 , 5F064GG03 , 5F064GG07 , 5F083BS14 , 5F083BS15 , 5F083BS17 , 5F083BS18 , 5F083BS27 , 5F083BS29 , 5F083BS40 , 5F083GA02 , 5F083GA09 , 5F083HA02 , 5F083JA03 , 5F083JA06 , 5F083JA36 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083JA56 , 5F083NA01 , 5F083PR03 , 5F083PR21 , 5F083PR33 , 5F083PR40 , 5F110AA02 , 5F110AA03 , 5F110AA04 , 5F110AA09 , 5F110BB04 , 5F110BB07 , 5F110BB20 , 5F110CC02 , 5F110DD05 , 5F110DD13 , 5F110EE01 , 5F110EE03 , 5F110EE14 , 5F110EE22 , 5F110EE44 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF09 , 5F110GG02 , 5F110GG12 , 5F110GG25 , 5F110GG32 , 5F110GG52 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HK04 , 5F110HK34 , 5F110HL01 , 5F110HL04 , 5F110HL11 , 5F110HL23 , 5F110HM02 , 5F110HM15 , 5F110HM17 , 5F110HM19 , 5F110NN04 , 5F110NN25 , 5F110NN35 , 5F110NN62 , 5F110NN65 , 5F110QQ10 , 5F110QQ11 , 5F110QQ17 , 5F110QQ19

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