特許
J-GLOBAL ID：200903073421539556
液晶表示装置用配向膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-338741
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173145
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】塵や静電気を発生しやすく、大面積の配向膜を均一に作ることが困難なラビング法を使わずに配向膜を作る。【構成】減圧槽1内の蒸発皿3,4にテレフタル酸ジクロリドモノマーおよびp-フェニレンジアミンのモノマーをそれぞれ別けて入れる。真空ポンプ15により真空に引いた後、蒸発源ヒータ7,8により前記モノマー5,6を適当に加熱して減圧槽1内上方に取り付けた基板11上に蒸着・反応させて蒸着膜を作る。シャッタ9を閉じて蒸発源3,4,5,6,7と基板11を遮断し、減圧槽1を大気圧に戻し温度を常温まで下げた後、基板加熱機構13により蒸着膜12を80〜250°Cで焼成して液晶表示装置用のポリ-p-フェニレンフタルアミドの配向膜を製作する。
請求項（抜粋）：
減圧槽内の別個の容器に、テレフタル酸ジクロリドモノマーおよびp-フェニレンジアミンのモノマーを入れて、減圧下で、約100〜120°Cに加熱して、前記モノマーを、減圧槽内の上方にとりつけた基板上に蒸着・反応させて蒸着膜を作製して、シャッターを閉じて容器と基板を遮断し、減圧槽を大気圧に戻して、温度を常温まで下げた後、蒸着膜を80〜250°Cで焼成することからなるポリ-p-フェニレンフタルアミドを液晶表示装置用の配向膜として製造する方法。
IPC (3件)：
G02F 1/1337 520
, C08G 69/26 NSU
, C23C 14/12
