特許
J-GLOBAL ID：200903073429726258

表面弾性波装置用基板およびその製造方法

発明者：
中村 幸則

中村 幸則 について

, 
柴田 智彦

柴田 智彦 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-028538
公開番号（公開出願番号）：特開2000-201050
出願日： 1999年02月05日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】サファイア単結晶基板の上に、クラックがなく、電気-機械結合係数や中心周波数の温度係数などの圧電特性も良好で、弾性表面波の伝播速度の高い窒化アルミ単結晶層を形成した弾性表面波装置用の基板およびその製造方法を提供しようとするものである。【解決手段】α-Al2O3のサファイア単結晶基板1の表面を、R(1-102)面より[11-20 ]軸を中心として-方向に2°以上回転させてオフアングルを持たせた面とし、この面上にMOCVDによってバッファ層として作用する窒化ガリウム層2を0.1〜0.2μm の平均膜厚で成膜し、さらにその上に窒化アルミ単結晶層3をMOCVDにより2μm 以上の平均膜厚に堆積形成する。これらの窒化ガリウム層および窒化アルミ単結晶層を成膜している間のサファイア単結晶基板の表面温度はほぼ950°Cと一定とするので、製造プロセスは簡単となる。
請求項（抜粋）：
α-Al2O3のサファイア単結晶基板の表面に、バッファ層として作用する窒化ガリウム層を形成し、その上に前記窒化ガリウム層よりも平均膜厚の厚い窒化アルミ単結晶層を形成したことを特徴とする弾性表面波装置用基板。
Fターム (10件)：
5J097AA32 ,  5J097BB11 ,  5J097EE08 ,  5J097FF02 ,  5J097GG01 ,  5J097HA03 ,  5J097HA07 ,  5J097KK01 ,  5J097KK05 ,  5J097KK09
引用特許：
審査官引用 (3件)

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